中国首家 12 英寸晶圆再生工厂在合肥量产

中国首家 12 英寸晶圆再生工厂在合肥量产

7 月 22 日消息 本月中旬，合肥至微项目当日正式量产，这是中国国内首个立项又最先量产的 12 英寸晶圆再生工厂。

所谓“晶圆再生”，指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。

据介绍，合肥至微项目总投资近 10 亿元，2020 年 3 月正式开工，2020 年 12 月项目设备基本搬入调试，2021 年 3 月，进入试生产阶段，至 6 月进入量产阶段。

合肥量产的这一晶圆再生项目以 14 纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的 12 英寸晶圆再生产线。该项目全面达产后，可形成每年 168 万片晶圆再生及 120 万件零部件清洗的能力，满产后年产值可超过 6 亿元。

目前我国在晶圆制造领域中完成了 8 英寸晶圆的自给自足，与硅芯片制程工艺的定义标准不同，一般来说，规格尺寸越大的晶圆，生产难度越高。

合肥至微半导体是至纯科技旗下的一家负责“半导体晶圆再生和部件再生”项目的载体。至纯科技前不久量产成功的 28 纳米湿法清洗设备已经交付给中芯国际、华虹集团使用，有关 14 纳米、7 纳米制程的清洗设备将于 2022 年交给华为、中芯国际等国产厂商进行客户认证。